「理論上」可做3奈米！中國光刻機技術傳重大突破 與ASML走不同路繞開封鎖
中國科學院傳出成功研發突破性的DUV技術，並與ASML等光刻機大廠採用不同技術路線。圖為ASML光刻機模型。（資料照，顏麟宇攝）
中國半導體設備傳出最新突破，據中媒《快科技》報導，中國科學院近日成功研發突破性的深紫外光曝光機 (DUV) ，可發射波長193nm的光子，與目前主流波長一致，理論上能將半導體工藝推進至3奈米，並且在技術上與艾司摩爾（ASML）、佳能（Canon）、尼康（Nikon）等國際大廠不同；不過目前輸出功率、頻率都與商用水準有落差，仍需繼續研發。
綜合報導指出，中國科學院團隊近日在《國際光電工程學會》期刊公佈研究成果，表示該技術通過創新性的固態雷射方案，成功輸出193nm波長的相干光，理論上可支撐半導體製造工藝延伸至3奈米節點，為中國光刻技術自主化開闢了新路徑。
當前全球光刻機巨頭艾司摩爾、尼康、佳能使用的DUV系統，均依賴氟化氙 (ArF) 準分子雷數技術，該技術透過氬氟混合氣體，釋放出193nm波長的光子，輸出功率100到120W，頻率8k到9kHz，系統複雜程度高且能耗較大。
報導指出，而這次中國科學院的固態DUV雷射技術，完全基於固態設計，由自製的晶體放大器產生1030nm的雷射，在通過兩條不同的光學路徑進行波長轉換，一路轉換後最終生成193nm波長的雷射光束，平均功率為70mW，頻率為6kHz，光譜純度與現有商用準分子雷射系統相當。
報導稱，該技術與艾司摩爾等大廠的技術路線不同，除可繞開技術與專利封鎖，也大幅降低微影系統的複雜度、體積，同時減少對稀有氣體的依賴並降低能耗。不過目前的輸出功率和頻率都還和商用標準低很多，頻率雖有3分之2，但功率僅標準的0.7％，因此還需繼續迭代，提升技術才能進入商用。
更多新聞請搜尋🔍風傳媒
目前贊助金額NT.240
想要一起表達支持這篇文章？
贊助文章
更多文章
柯建銘立院怒砸斷枴杖「擊中徐巧芯」 她貼驗傷單：瘋魔還適任總召嗎？立法院今（25）日審查國民黨團提案的反廢死、反戒嚴公投，綠營對此進行杯葛，不過提案最終仍逕付二讀。但衝突在晚間竟擦槍走火，民進黨團總召柯建銘為抗議而拿起拐杖敲桌子，不料疑似太過用力，拐杖竟當場被打斷噴飛，斷掉的部分正好擊中前方的國民黨立委徐巧芯。對此，徐巧芯也在臉書貼出驗傷單，直言「以柯總召的心性，我不奢求他給我一個道歉。但已經近乎瘋魔的人，真的適任執政黨的總召嗎？」
台新銀行攜手北檢 打造AI防詐全新防線台新銀行今（25）日發布新聞稿指出，台新銀今日與台北地方檢察署簽署「戰神專案」防詐合作備忘錄（MOU），在台新金控董事長吳東亮見證下，由台新銀行總經理林淑真與台北地方檢察署檢察長王俊力代表締結，宣示將透過AI科技，提前預警通報並預控潛在高風險帳戶，共同攜手打擊重大詐騙案件。
「德國也禁止宣傳納粹主義」 李明哲談亞亞武統言論：盼政府立法管理陸配網紅「亞亞在台灣」劉振亞涉及宣揚武統，遭移民署處分限期離境，今（25）日深夜是最後期限，亞亞原先堅持不離開台灣，一早她與家人前往內政部舉行記者會陳情抗議，然而才過不到半天時間，她又改變心意，晚間將至松山機場搭機離台。台灣人權工作者李明哲表示，亞亞的言論並非某些人士所說非常政治不正確、白目、刺耳，令人不悅，而是徹徹底底破壞言論自由的基石，摧毀民主自由人權，泯滅人性的行為。
卓榮泰缺席立院今晚質詢 行政院：向韓國瑜道別獲同意後才離開立法院今（25）日院會在綠營杯葛下，終於在晚間繼續開會並質詢，但直到晚間近9時行政院長卓榮泰等內閣團隊仍未出現，立法院長韓國瑜宣布散會。行政院發言人李慧芝表示，卓榮泰於開會時間結束後，向韓國瑜道別並獲同意後，始率行政團隊離開立法院，相關程序皆依立法院所發會議通知以及立法院議事規則規定進行。
柯文哲案再開庭！黃景茂爆檢察官拿文件逼認罪 她怒批：又是林俊言台北地方法院今（25）日審理京華城、政治獻金等案，傳訊前北市都發局長黃景茂出庭，他被控為官位攀附時任北市市長柯文哲，違背都市計畫專業，圖利財團百億不法利益。黃茂庭今日在庭上表示，偵查檢察官林俊言曾拿台北市前副市長彭振聲、都委會前執秘邵琇珮認罪文件要求他認罪，他強調自己基於文官尊嚴，不認罪。民眾黨團主任陳智菡對此痛批，不懂都市計畫的檢察官、硬是把京華城指認成都更案，逼著為國家付出一輩子、競競業業的公務員認罪，現代東廠，指鹿為馬，讓人細思極恐。
「川普政府是怎麼把戰爭計畫傳給我的？」《大西洋月刊》總編輯見證國安團隊脫線的第一手經歷川普的國安團隊誤將《大西洋月刊》總編輯拉進機密群組，並且不慎將轟炸葉門叛軍胡塞武裝的作戰計劃洩漏。這則新聞24日佔據了美國媒體的顯著版面一整天，因為這意味著副總統范斯、國務卿魯比歐、白宮國安顧問瓦爾茲等一干重臣全無資安意識，不但使用的開源通訊軟體討論機密事務，甚至連誰在群組裡也未經審核，螺絲之鬆讓人歎為觀止。更有意思的是，親自「參與」了這一票大官討論的媒體人高德柏格，也在《大西洋月刊》寫下了自己的見證。
亞亞談武統不屬言論自由？醫曬台獨案判決書：趕走陸配後就要法辦台灣人了陸配網紅「亞亞在台灣」劉振亞因涉及宣揚武統，被移民署撤銷依親居留許可，並命其於10日內出境，今（25）日是她限期離境的最後一天，一早她與家人前往內政部舉行記者會陳情抗議，亞亞強調：「我的家在台灣，我的孩子在台灣，鼓吹武統沒有任何好處。」時常批判時事的醫師沈政男看待此事表示，民進黨政府稱「陸配不是台灣人！武統不是言論自由」，根本自相矛盾，到底驅逐陸配，是因為陸配沒有充分的言論自由，還是武統不屬於言論自由範圍？
「檢察官都拿警察衝業績」 游毓蘭點名準司法院長：手上沾滿多少警眷血淚日前再度發生警察自戕憾事，新北市三重警分局厚德派出所周姓警員23日午間於頂樓舉槍自戕，巨大槍聲響徹派出所，周姓警員最終搶救不治。現為警眷關懷協會理事長的國民黨前立委游毓蘭，及亞洲警察學會前主席、現任國民黨新北市議員林國春今（25）日召開記者會，游毓蘭控訴，檢調對警察涉嫌違法，總是「小案大辦」，連偽造文書罪都要用貪污罪來辦，導致警察在纏訴期間被迫停止，呼籲檢調別再濫訴、拿警察「衝業績」，同時也喊話警政署研議修法。
「陸配人權也是台灣人權」 中華人權協會聲援亞亞：兒童有不與父母分離權利陸配「亞亞」劉振亞在網路大肆鼓吹武統言論，移民署廢止其居留許可，今（25）日是她離境最後期限，亞亞必須在晚間11時59分前離開台灣，不過她對此不服，上午還直衝內政部門口開記者會，高調稱拒絕離台。而中華人權協會也對此發出聲明，表示「陸配人權也是台灣人權」，此舉導致陸配與稚齡子女面臨分離，未符合比例原則，嚴重影響基本人權，恐加深社會對立，不利台灣自由民主形象。
綠營杯葛議事無效 藍白聯手反戒嚴、反廢死公投案逕付二讀立法院今（25）日召開院會，不過新黨副秘書長游智彬21日大鬧議場後，民進黨團要求立法院長韓國瑜嚴查、譴責，遂杯葛議事至今，至晚間6點，國民黨、民眾黨提案延長會議，民進黨團則主張會議無效，稍早立法院長韓國瑜宣布開會，經表決兩案公投逕付二讀。
全球銷售量打破公司紀錄！比亞迪2024年營收突破千億美元，打敗馬斯克的特斯拉中國電動車龍頭製造商比亞迪（BYD），日前公佈最新財報顯示，2024年營收已超越競爭對手特斯拉（Tesla）。這家總部位於深圳的公司，過去一年營收增長約29%，達到7770億元人民幣（約1070億美元，約新台幣3.54兆元），拜旗下混合動力（hybridvehicle）車款的銷售量大幅提升，幫助比亞迪打敗馬斯克（ElonMusk）管理的特斯拉，該企業稍早財報顯示，2024年營收為977億美元（約新台幣3.23兆元）。
高雄設「行人分段穿越」！鳳山過埤路/過勇路口 試辦成效良好為提升行人安全、減少人車交織風險，高雄交通局與新工處攜手地方，在鳳山過埤國小旁路口試辦「行人分段式穿越」措施。該設計引導行人利用中央分隔島分段穿越，降低一次跨越多車道的風險。自3月8日試行至今，初步成效良好，交通局也持續與學校及鳳山分局密切合作，觀察執行狀況並調整優化。
納淨零設施生活更綠藝！工務局推立體綠化補助最高80萬元 即日受理 高市府推動邁向淨零碳排城市為全國之率先楷模，為推動綠化政策，工務局114年度建築物立體綠化及綠屋頂補助計畫於今(25)日起受理申請，並於5月20日前截止，最高補助80萬元，申請補助須納入淨零排放等設施，以增加立體綠化面積，降低能源使用，提升生活品質，為推動未來城市環境永續發展努力。
經營國際通路有成！高雄農業局蜜棗試吃推廣告捷 首波下單出口3.2噸蓮霧高雄市政府農業局多年來深耕海外市場，「高雄首選品牌」在國際市場上站穩腳步，並在新加坡與馬來西亞的消費市場中獲得高度認可，高雄主力農產如蜜棗、紅心芭樂、金煌芒果、野蓮等深獲星馬消費客群的喜愛，銷售業績攀升。為近一步拓展新加坡與馬來西亞市場，農業局積極控管產地品質，並安排今(114)年首波蜜棗試吃活動打頭陣，引發市場熱烈回響，品嚐過高雄果品的消費者紛紛驚艷於蜜棗清脆口感與甜美滋味，並在網路社群上分享體驗心得，進而吸引更多消費者的關注，為延續熱潮，農業局計畫接下來將由高雄蓮霧、紅心芭樂接力，推廣更多高雄的優質果品，提升國際市場能見度。
新店F單元主要計畫內政部審議通過 再添1300戶社會住宅新店碧潭大橋北側農業區F單元面積約22.87公頃，鄰近安坑交流道、捷運小碧潭站及安坑輕軌安康站、陽光運動公園站，F單元主要計畫於今（25）日經內政部都市計畫委員會審議通過，未來將配合地區發展需求，預計規劃停車場用地、公園用地、兒童遊樂場用地及社會福利設施用地等公共設施，彌補地方發展需求。
棒球世家美女！前Uni Girls艾璐駕駛BMW X6運動休旅，置物空間大、方向盤輕巧、環景輔助攝影讓停車更精確！去年從UniGirls統一獅啦啦隊退役的艾璐（李亞璇），出生於棒球世家，父親李杜宏曾是三商虎隊的投手，目前是青棒教練，從小她就與棒球結下不解之緣，因為喜歡棒球又喜歡跳舞，選擇以棒球啦啦隊為職業。她曾在LamiGirls、RakutenGirls、UniGirls擔任中華職棒啦啦隊，與職棒投手胡智爲結婚後，目前因baby的誕生，先回歸家庭生活，但她表示，雖然角色轉換，但還是會常去球場應援！她的愛車BMWX6xDrive35i，符合她所散發的健康動感形象，一起來看看她的分享。
展現青春活力與運動精神！全中運賽事服裝亮相 黃偉哲攜手選手迎戰榮耀全國中等學校運動會是中學生體育競技的最高殿堂，更是培育青年選手邁向國際舞臺的重要賽會，臺南市政府今(25)日於市立體育場前廣場舉辦青春上場宣傳記者會，由臺南市長黃偉哲親自出席，並邀請多位臺南傑出選手穿著首度亮相的大會服裝及臺南市代表隊服走秀，展現全中運的青春活力與運動精神。
全台電動車近10萬輛 交通部砸9.8億設公共充電樁據交通部統計至今年（2025）2月底，電動小客車登記數為99,980輛，較去年2月底增加39,493輛，年增65%，顯示近年國內電動汽車數量快速成長。目前，國內公共充電樁數量共10,838槍，符合歐盟建議整體公共充電樁與車樁比10：1。
陸配亞亞宣揚武統是言論自由？作家提法條2要件力挺：綠政府愧對民主老前輩陸配「亞亞」因發表支持武統言論，被移民署廢止居留許可，取消其在台依親居留資格，將在今（25）日晚間離境，此事件也引發兩派論戰。對此，作家「漂浪島嶼」在臉書發文搬出這法條表示，只要沒有這2個限制要件，都屬於言論自由，他也直言政府作出這樣倒退的定義，真會對不起民主老前輩，拚了一生的民主理念。
世界結核病日 新北動保處為您把關鮮乳食品安全 結核病0檢出!324世界結核日為有效預防結核病感染，新北市政府動保處宣導民眾選購鮮乳標章乳品，即可安心飲用，結核菌分為人型、牛型及鳥型，由於牛型會傳染牛羊，也會感染給人類，結核病潛伏期長，可能經由食用未經消毒的乳品而感染。動保處每年派員巡迴轄區各乳牛羊場進行結核病檢測，迄今已檢驗結果皆為合格，動保處持續為動物及酪農健康安全把關，確保產出乳品衛生無虞，保障民眾食品安全。
竹聯幫主投票轉移陣地到「這裡」 刑事局撂話「零容忍」國內最大幫派「竹聯幫」第二任幫主「么么」黃少岑上月逝世，因其生前未公開指名繼任者，導致新幫主至今未定。據《風傳媒》報導，中華統一促進黨總裁「白狼」張安樂原安排在今（25）日晚間6時，於立法院康園餐廳舉辦幫主投票，引發立法院警衛隊及警政署緊張，張安樂下令取消，擇期再辦。不過，據掌握，竹聯幫新任幫主投票並未延期，但地點已移轉至位於北市中山區的餐廳；中山警分局也向《風傳媒》證實，有掌握相關資訊，目前已派員前往盤查。
酸亞亞「才來台幾年就學會嗆政府」 陸配網紅揭再入境方式：不存在骨肉分離陸配網紅「亞亞在台灣」劉振亞於社群平台拍影片發表武統言論，被移民署廢止其依親居留許可，並要求她在25日晚上11時59分前離開台灣，但她昨（24）日向媒體表示沒有打算離開。亞亞今日與台灣家庭互助協會到內政部門口開記者會陳情抗議，主張自己是無辜的、孩子也受牽連，還說：「我有責任要陪我的孩子一起面對這個難關」。陸配網紅「焦慮主婦Lia」于利雅談到此事時大酸亞亞，才來台灣幾年就學會了抗議、嗆政府，這融入的也太好了！
別再挑戰公權力! 廣告未標示許可證字號 新北動保處開罰特定寵物業者!隨著網路購物的普及，許多民眾習慣透過線上平台選購商品，甚至連犬貓寵物都能在線上瀏覽買賣資訊。近日新北市動保處接獲多起民眾陳情，發現部分網路賣家在廣告中未依規定標示特定寵物業許可證號，導致消費者無法有效辨識業者是否合法。動保處呼籲，民眾購買犬貓時應選擇具備合法許可證的業者，確保自身權益及動物福祉。
美景、美食盡在細節! 春遊新北GO趣味 盡情體驗人生何需設限!春暖花開，運動熱潮來襲！新北市政府今(25)日公布「春Fun新北遊GO趣味」春季25大系列活動，適逢2025雙北世壯年運動會舉辦期間，邀請大家來到新北市，國內外旅客在參與賽事之餘，走訪新北特色景點，賞花、品茗、嚐美食、逛市集、觀展覽，體驗最美好的春日風光。
道品牛肉麵高雄旗艦店周年慶 張耀：為關聖帝君傳道回饋社會位於高雄車站前建國二路與南華路口的「道品牛肉麵」高雄旗艦店，即將迎來首個周年慶，創辦人張耀為感恩忠實顧客與高雄人的熱情，訂4月1至6日推出回饋專案，點一碗牛肉麵招待一道小菜，並自4月8日起利用每週一公休日下午3點及晚上8點各舉辦一場免費公益命理講座，親授易經、八字、姓名學、測字、卜卦等算命法，除提供學習一技之長的管道，也進而為人解惑、指點人生迷津。
川普對等關稅又改口？台灣若列骯髒15國 台經院點名「兩種產品」恐遭殃美國總統川普（DonaldTrump）政府日前將對美徵收高額關稅的國家稱為「骯髒15國」（TheDirty15），台灣也被外媒點名名列其中；川普先前宣稱將在4月實施對等關稅，但24日卻又稱「我可能對很多國家網開一面」。台灣經濟研究院（台經院）今（25）日除公布2月景氣動向調查外，也提到，川普貿易戰下經濟前景不明，對台灣影響比較大的，可能有兩種產品。
新北市水利局:公私協力強化防汛出流管制設施督導搶先2月開跑!為面對近年來極端氣候造成強降雨經常發生的情形，中央自108年水利法新增出流管制專章，隨即新北市政府發布作業要點後，進一步確保1公頃以上的開發案件，有負擔開發後逕流量不得增加之義務。截至114年2月止，新北市已核定138件出流管制案件，滯洪量體增加約47.5萬噸，相當於190座標準游泳池容量，可見出流管制開發案件，所能增加的滯洪空間相當龐大。
美中科技戰》老美只會限制晶片出口，真的管用嗎？瑞士學者：美國嚴重低估中國的科技創新美國政府試圖限制晶片出口來遏制北京的技術雄心，但這麼做真的管用嗎？瑞士洛桑的國際管理發展學院教授馬克・葛里文（MarkGreeven）在《新蘇黎世報》的客座評論指出，美國確實低估了中國的科技創新能力，即便花了很大力氣管制尖端晶片及其製造設備的出口，此一戰略卻收效甚微。包括字節跳動（ByteDance）、大疆（DJI）和比亞迪（BYD），都在引領全球產業的創新標準。
5廚師驗出諾羅病毒！宜蘭火鍋店疑爆食物中毒 累計63人不適宜蘭羅東「涮樂和牛」火鍋店日前試營運後，陸續有民眾出現上吐下瀉等身體不適症狀，至今已接獲63人通報。疾管署今（25)日公布最新採檢結果，總計採檢17個檢體，其中10例顯示諾羅病毒陽性，含5例民眾有腹瀉症狀，另5例廚師則宣稱沒有任何症狀。
請注意! 強化颱洪應變 新北辦理防災專題講習!近年來全球氣候變遷導致臺灣極端天氣事件頻繁發生，颱風與豪雨帶來的複合型災害風險不容忽視，如113年10月4日，山陀兒颱風在南部減弱消散，但其殘餘環流與東北風在北海岸產生氣流輻合，加上地形影響，導致北海岸地區出現破紀錄的大雨，其中金山區最大時雨量達105毫米，造成多處道路嚴重淹水，金山老街等知名景點也受災嚴重。為使新北市能即時掌握劇烈天氣變化，近年來與天氣風險公司團隊合作，於汛期進駐本市災害應變中心，全時監控天氣變化，提供情資研判作為防災整備應變之決策參考。
感受古文字藝術的魅力 「觀詩悟空—甲骨天團聯展」即日起國資圖黎明分館展出國立公共資訊圖書館今(25)日(二)起至5月25日(日)止，舉辦「觀詩悟空—甲骨天團聯展」，邀請熱愛書法藝術與甲骨文的藝文團體「甲骨天團」參展。本次展覽在國資圖黎明分館2至3樓閱覽區展出，展覽以「觀詩悟空」為核心概念，融合書法、甲骨文字藝術與哲學思維，探索「字」與「空」的意象，以及在創作上的深遠意涵。透過書法與篆刻的創作，讓更多人認識甲骨文的獨特美感。
新北Youbike天天用量破10萬 強身減碳一騎出花踏青趣happy go!近期回溫好天氣，加上新北市YouBike2.0公共自行車自3月起實施前30分鐘免費，吸引許多民眾租借騎乘通勤或出遊，交通局統計上周（3/17-23）Youbike2.0自行車租借次數，平日每日約10.5萬次、周末假日每日約10.8萬次，相較2月每日平均租借量大幅成長近28%！歡迎大家一起騎YouBike強身減碳，環保愛地球。
彰化縣交通違規簡訊通知服務 申請後收到簡訊可即時導正以防再犯彰化縣政府昨(24)日召開道安會報，彰化縣長王惠美主持，會中除了有各項強化道路安全作為，王縣長提醒大家，彰化縣警察局推出「交通違規簡訊通知服務」，申請後只要在彰化縣內被民眾檢舉或科技執法設備取締，經審核成案後，就會馬上收到簡訊提醒，即時導正駕駛人遵守交通規則，不僅讓民眾減少重複違規，損失荷包，一罰再罰，也讓交通更安全、更順暢。
投縣衛生局針對乙型受體素抽檢42件豬肉產品 結果均符合規定豬肉是大多數民眾三餐都會實用到的肉品，為維護縣民食安，確保豬肉的安全性，南投縣政府衛生局近期檢驗了42件豬肉產品，並針對其中的乙型受體素進行檢測，檢驗結果顯示，所有樣品的乙型受體素均未檢出，消費者可以安心食用這些肉品。民眾如有食品衛生安全問題及消費疑義，可電洽南投縣政府衛生局服務專線049-2231994。
