二○一三年台積電面臨三星「滅台計畫」，創辦人張忠謀在受訪時稱三星是「可畏的對手」，三星技術上不斷追趕台積電腳步，但產能與良率仍有一段差距。然而以三星的財力、企圖心、技術實力以及南韓政府的全力支持，它仍將是台積電可觀、可敬的對手。
「如果你問我，三星（Samsung）有沒有可能在五年內趕上台積電？我會直接回答：『不可能。』但是過去二、三十年，三星有過幾次非常成功的轉型。微軟（Microsoft）做到一次，諾基亞（Nokia）做到一次，哪一家科技業者能做到三次、四次？」──麥格理（Macquarie）晶片產業分析師金桐完（Daniel Kim），《金融時報》（Financial Times）
半導體發展藍圖衝台積電來
去年四月二十四日，南韓三星電子公布「半導體願景二○三○」發展藍圖，不但雄心勃勃，而且還衝著台積電而來，準備在十年內投資一三三兆韓元（一一六○億美元），錄用一萬五千名專業人才，要在二○三○年之前大幅提升自家在邏輯晶片與晶圓代工市場的競爭力。
南韓政府隨後也宣布將挹注一兆韓元（二六七億新台幣），擺出「國家隊」的陣勢，支持業界的邏輯晶片研發工作，培養相關領域人才。三星在記憶體業務占據全球市場六成以上，但在邏輯晶片與晶圓代工競技場遠遠落後台積電，摩拳擦掌的企圖心不難想見。
今年儘管武漢肺炎疫情尚未退潮，全球經濟頹勢日益嚴重，但三星並沒有放慢投資擴張的腳步。五月二十一日，三星宣布在南韓京畿道平澤工廠擴建極紫外光（ＥＵＶ）微影（光刻）技術、五奈米製程晶圓代工生產線；六月一日，三星宣布在平澤組建最尖端的ＮＡＮＤ快閃記憶體生產線。
雖然三星未公布投資金額，但業界估計兩項計畫將各耗資十兆韓元與八兆韓元（二六七五億新台幣、二一四○億新台幣），預計明年下半年投產ＥＵＶ技術晶片與Ｖ─ＮＡＮＤ產品。三星的半導體策略一向是在景氣低迷時擴大投資，市場預期，它近期內可能會再加碼十五兆韓元（四○一二億新台幣），在平澤擴建ＤＲＡＭ生產線，同樣在明年下半年量產。
EUV生產線對台積電最具威脅性
三星一連串大動作，其中以ＥＵＶ生產線對台積電最具威脅性。ＥＵＶ技術使用波長十三．五奈米的極紫外光，能製造出更精細、更清晰的電路，讓晶片得以搭載更多元件、提升運算能力與能源效率，是延續摩爾定律（Moore's Law）的關鍵技術之一。
雖然台積電在去年已成為全球第一個成功導入ＥＵＶ技術（七奈米製程）並達成量產的半導體公司，但三星正急起直追，在南韓京畿道華城市的Ｖ１生產線，ＥＵＶ技術的七奈米製程今年二月開始量產，五奈米製程力拚今年下半年量產。到今年年底，三星對Ｖ１生產線的投資將達六十億美元，七奈米製程產能將比二○一九年增加三倍。三星今年三月也推出業界第一批ＥＵＶ技術的ＤＲＡＭ（十奈米製程），來勢洶洶。
