Dream Fab位於台北南港展覽館一館1樓J區入口,參與業者橫跨設備、材料、載具、自動化與測試領域,包括廣隆欣業、愛德萬測試(東京證交所代碼:6857)、ASML(NASDAQ:ASML)、G2C+策略聯盟、家登精密(3680)、旺矽(6223)、Qnity(NYSE:Q)、迅得機械(6438)、SCREEN Holdings(東京證交所代碼:7735)及惠亞工程,並將於9月2日至4日SEMICON Taiwan展期間對參觀者開放。
進不了真實晶圓廠?曹世綸揭Dream Fab起心動念
SEMI全球行銷長暨台灣區總裁曹世綸表示,Dream Fab的構想,來自許多年輕學子及海外訪客來到台灣後,都希望一窺台灣半導體產業的奧祕;然而,實際晶圓廠受到製程、機密及無塵環境等限制,不可能讓所有訪客進入體驗。
「很多年輕學子或國外訪客來到台灣,都希望能夠一窺台灣半導體的奧祕。」曹世綸指出,SEMI因此思考,能否在SEMICON Taiwan入口處打造一處體驗場域,讓海外訪客及學生初步了解半導體產業與晶圓廠的運作,這也成為Dream Fab最初的起心動念。
Dream Fab早在2019年首度登場,今年睽違7年重新規劃。曹世綸坦言,幾年前推出的初代版本,許多內容「沒有現在這麼真實」;隨著台灣成為全球半導體產業焦點,展區也必須同步升級,因此今年導入更多實際設備、模型與材料,並將各家企業原本分散的技術整合成虛實合一的製造場域。
曹世綸說,這些設備與展品「不是遊樂場裡的玩具」,背後需要企業夥伴投入時間協作,才能將不同製程環節串成完整體驗。他也期待,Dream Fab未來能夠每年持續舉辦、逐步深化,把展區做得更加完整。
從High NA EUV到CMP 四大區塊還原晶片製造流程
今年Dream Fab依循晶片誕生歷程,分為核心設備、關鍵材料、智慧搬運及精密測試四大區塊。參觀者首先穿過廣隆欣業提供的標準型Air Shower實機,踏上惠亞工程設置的20公分高架蜂巢地板,並可現場穿著無塵衣,體驗進入晶圓廠潔淨區前的準備流程。
進入核心設備區後,首先看到ASML的High NA EUV模型。High NA EUV透過提高數值孔徑,進一步提升極紫外光微影的解析能力,是推進更先進晶片製程的重要設備;不過,展區展示的是設備模型,並非實際投入生產的曝光機。
另一側則是SCREEN的SU3400單片式晶圓清洗設備模型,其Loadport搭配家登精密12吋Purge FOUP,呈現晶圓完成曝光等製程後,如何進行清洗及潔淨傳送。藉由設備與載具相互搭配,參觀者可以理解,晶片製造並不是由單一機台獨立完成,而是不同設備、載具與材料緊密銜接的結果。 (相關報導: SEMICON Taiwan 2026》AI封裝互連微縮,化學材料左右良率!李長榮新蝕刻液客戶測試良率達99% | 更多文章 )
在關鍵材料區,Qnity展示CMP研磨墊與研磨液。CMP即化學機械平坦化,是利用化學反應及機械研磨,使晶圓表面保持平坦的製程;隨著晶片線路微縮、結構及堆疊層數日益複雜,晶圓表面的平坦度將直接影響後續製程能否順利進行。













































