SEMICON Taiwan 2026》GAA讓材料需求增至1.4倍!默克:後續架構上看1.8倍,AI篩選時間最多減半

2026-09-04 00:32
默克電子科技事業體全球薄膜科技事業執行副總裁韓冰(Bing Han),分享默克如何運用原子層沉積與分子級表面化學專業,支援新興晶片架構發展。(默克提供)
默克電子科技事業體全球薄膜科技事業執行副總裁韓冰(Bing Han),分享默克如何運用原子層沉積與分子級表面化學專業,支援新興晶片架構發展。(默克提供)

AI晶片不只推升先進製程產能,也正改變半導體材料的種類、用量與開發方式。默克電子科技事業體全球薄膜科技事業執行副總裁韓冰今(3)日表示,電晶體由FinFET轉向環繞閘極(Gate-All-Around,GAA)架構後,材料需求約增至原來的1.4倍;再走向後續更複雜的電晶體架構,材料需求可能進一步增至約1.8倍。

面對材料種類增加及研發時程縮短,默克也將AI導入候選配方篩選。韓冰指出,依研發項目及可用數據量而異,部分配方材料計畫的篩選時間可縮短約50%;但這項成效並非適用於所有材料,也不代表從實驗室開發到客戶驗證的整體時程都能減半。

晶片從平面微縮走向3D,薄膜控制增加垂直維度

韓冰於SEMICON Taiwan 2026記者會指出,過去薄膜技術的主要挑戰,是在晶片平面結構上達到原子尺度的精準控制;隨著AI推動晶片走向3D架構,材料沉積不僅要控制左右及前後,也要進一步控制垂直方向。

「以前最重要的是做得非常精準,但現在不只要在平面上精準,還要做到3D。」韓冰表示,當製程從平面向垂直方向延伸,薄膜必須進入更深、更窄且形狀複雜的結構,沉積均勻性、材料純度及介面控制難度都隨之提高。

他指出,摩爾定律所代表的平面微縮仍將持續,但AI晶片的材料需求已不只來自線寬縮小,而是同時受到電晶體3D化及先進封裝整合推動。

FinFET轉向GAA,材料需求增至1.4倍

相較FinFET主要由閘極包覆通道的三個方向,GAA架構進一步讓閘極環繞通道,藉此提高電晶體控制能力並降低漏電,但也增加薄膜沉積及材料介面處理的複雜度。

韓冰表示,從FinFET轉向GAA後,材料需求約增加至原來的1.4倍;當產業再往後續更複雜的電晶體架構發展,材料需求可能增至約1.8倍。這不只代表材料使用量增加,也意味晶片製造需要更多不同功能的前驅物、介電材料及表面處理技術。

韓冰以手機及GPU為例說明,若將晶片從上方切開、由側面觀察,就會看到各種不同材料形成的層狀結構,這些結構多涉及薄膜技術。晶片愈往3D化發展,需要精準控制的材料層與介面也愈多。

尺寸縮至3至5奈米,材料不能「到處都長」

除垂直方向的沉積控制外,韓冰認為,選擇性區域沉積將成為下一階段的重要技術。部分晶片結構尺度僅約3至5奈米,製程有時要求材料只能在側邊或指定位置生長,不能同時沉積於其他表面。

「有時候做薄膜結構,只能在旁邊長、不能在下面長,這是非常難做的一件事情。」韓冰表示,這類製程需要運用選擇性沉積,讓材料根據不同表面的化學特性,只在預定區域形成薄膜。

相較先全面沉積、再透過蝕刻移除不需要的材料,選擇性沉積有機會減少製程步驟及材料浪費,但也要求材料商更精準掌握分子設計、表面化學與設備條件。 (相關報導: SEMICON Taiwan 2026》默克半導體人才東移亞洲!薄膜事業掌門人下月駐台,賀天銘:台灣研發只會加碼 更多文章

韓冰指出,薄膜材料無法閉門造車,相關研發必須與客戶及設備製造商共同進行。材料即使在實驗室中呈現理想特性,若無法配合客戶設備、製程條件及量產要求,也難以實際導入。

材料研發還要跨過量產放大門檻

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