不靠ASML!中國EUV光刻技術傳重大突破 烏凌翔預測:原型機這時問世

2025-05-04 09:10
近期外媒報導中國自主研發的EUV(極紫外光)設備近期取得重大突破。(資料照,美聯社)
近期外媒報導中國自主研發的EUV(極紫外光)設備近期取得重大突破。(資料照,美聯社)

面對美國技術封鎖禁令,儘管中國近年在半導體領域取得一定進展,但在晶片製造能力方面,仍與英特爾、台積電存在明顯差距,甚至曾被艾司摩爾(ASML)執行長Christophe Fouquet評為「落後10到15年」。不過根據外媒報導,中國自主研發的EUV(極紫外光)設備近期取得重大突破。對此,媒體人烏凌翔指出,其它國家研發的技術發表在期刊上終究是別人的,中國自己照做一遍,就算結果不是世界第首創,也是自己掌握的技術,將來不會被境外敵對勢力掐脖子。

烏凌翔在節目《烏鴉笑笑》指出,中國EUV所使用的光波只有13.5奈米,比荷蘭DUV(固態深紫外線)設備所用的光波還要短14倍多,換言之,如果它是一把光雕刻刀,當然比193奈米的這個光雕刻刀,可以刻出更細膩的電子線路。但是13.5奈米的極紫外光有個特性,它很容易被吸收,不僅穿過透鏡的時候會被玻璃吸收,連穿過空氣的時候也會被空氣分子吸收,所以要利用EUV的光刻機,就會跟利用DUV的光刻機技術大大不同,因為不能使用透鏡就必須使用反射鏡,那內部也必須高度真空。

烏凌翔提到,造出EUV有10萬個零件、3000條電線、4萬個螺栓、所用的軟管長達2公里,更麻煩的是所有這些零件都會相互影響,像是,極紫外光會產生熱,反射鏡因此可能熱漲冷縮就變形,所以EUV又設計了極為精密的反射鏡感測器,來隨時偵測這種狀況有沒有發生。

外界好奇,全球半導體設備大廠艾司摩爾(ASML)不是已經做出EUV,中國為何要尋求技術突破?烏凌翔認為,其一,中國是為了繞開專利的限制,另外一個原因,是既然可能要被迫選擇,當然要想辦法找到成本更低、效率更高的光源技術。

至於中國何時能造出EUV?烏凌翔提到,荷蘭ASML花了17年,中國目前已從荷蘭ASML挖角了大約100位專家,相關的研發在4、5年前就已經展開,所以他認為,有望在未來4、5年,看到EUV的原型機出現,但絕對不是一夜之間。

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