台積電與ASML宣布重磅合作!聯手改寫曝光機規格 12吋光罩High NA EUV量產時程曝光 台積電與艾司摩爾(ASML)今日宣布發起合作,共同引領半導體產業轉移升級至更大尺寸的極紫外光(EUV)微影光罩。(資料照,柯承惠攝)
全球晶圓製造龍頭台積電與曝光機大廠艾司摩爾(ASML)今(8)日宣布發起合作,共同引領半導體產業轉移升級至更大尺寸的極紫外光(EUV)微影光罩,High NA EUV將自現行的6吋光罩,轉移至更大的12吋光罩,計劃於2031年前建立試產線,2033年導入先進製程量產。
台積電與ASML表示,從6吋光罩轉移至12吋光罩,預期將進一步提升晶圓廠的生產力、降低晶片製造成本,並消除需要兩張6吋光罩在High NA EUV曝光時進行拼接的限制,使整個半導體產業受惠。此轉移能讓先進晶片製造服務提供者,充分利用High NA EUV的優勢,更提升未來世代先進晶片的成本效益。
曝光機大廠艾司摩爾(ASML)與台積電共同合作。(資料照,柯承惠攝)
攜手共推12吋光罩 魏哲家、ASML總裁怎麼說?
ASML總裁暨執行長Christophe Fouquet表示,「我們預期,隨著元件微縮藍圖的推進,High NA EUV的採用將逐步提升。初期透過沿用現行的6吋光罩,而後導入12吋光罩以進一步提升設備生產力,讓產業能夠滿足市場對更小、更快、更節能晶片的需求。我們很高興這項合作在初期便獲得半導體製造廠商、光罩廠商、以及合作夥伴的大力支持。」
台積電董事長暨總裁魏哲家也指出,「台積公司深信,唯有產業攜手解決複雜問題,才能開創單一企業無法獨力實現的無限可能。藉由匯聚產業價值鏈的專業能力,我們期許透過持續創新來降低門檻,讓先進解決方案得以大規模普及,進而持續傳遞尖端技術的價值。」
台積電董事長魏哲家表示,唯有產業攜手解決複雜問題,才能開創單一企業無法獨力實現的無限可能。(資料照,柯承惠攝)
台積電導入High NA EUV 12吋光罩何時量產? 台積電有意自2030年起,在先進製程量產中導入艾司摩爾的High NA技術。隨著製程技術持續推進,特別是在AI應用帶動電晶體架構日益複雜的趨勢下,台積電預期需要使用High NA EUV曝光的光罩層數將隨之增加。
台積電與ASML在7日出席於加州蒙特雷舉辦的BACUS國際光學工程學會(SPIE)先進微影技術研討會,會前宣布發起產業合作,以共同推動轉移升級至12吋光罩,並計劃於2031年之前建立12吋光罩試產線,為2033年12吋High NA微影系統導入先進製程量產奠定基礎。
眾多關鍵生態系統夥伴與供應商均出席此活動,並表達對該轉移的參與意願,突顯出產業對此的廣泛支持。
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快訊/蕭伊分手Joeman自曝感染HPV、披衣菌!曬檢驗報告喊「一輩子傷害」 控前男友性羞辱 Joeman與前女友蕭伊的感情風波持續延燒,蕭伊今(8)日再度公開性病檢驗報告,表示自己與Joeman交往的兩年期間「我的對象只有對方一人」,分手得知相關事情後接受檢查,結果驗出HPV(人類乳突病毒)第53型及披衣菌,她表示自己目前披衣菌正接受抗生素治療,HPV則持續追蹤,這段期間已跑過多間診所、尋求不同醫師協助,身心都承受巨大壓力。蕭伊痛訴自己染性病,源頭......