中國曝光機大躍進?傳成功生產7奈米 專家曝「開闢全新技術」可期:超越ASML

2025-11-03 08:50
科技力智庫執行長烏凌翔表示,上海公司宇量昇可能不單只是要繞過ASML的專利障礙,而是開闢新的技術路徑,研究出性能更好的曝光機。圖為ASML光刻機模型。(資料照,顏麟宇攝)
科技力智庫執行長烏凌翔表示,上海公司宇量昇可能不單只是要繞過ASML的專利障礙,而是開闢新的技術路徑,研究出性能更好的曝光機。圖為ASML光刻機模型。(資料照,顏麟宇攝)

上海新創公司宇量昇打造曝光機並生產7奈米晶片,9月傳出初步測試結果正面,尚未得知何時將能晶片量產。而宇量昇為中國華為體系的半導體設備製造商,對此,科技力智庫執行長烏凌翔於YouTube頻道《烏鴉笑笑》中,引述中國消息來源指出,宇量昇共生產3座曝光機,並分別交付予3家晶圓廠座調整測試。

烏凌翔表示,中國許多大專院校及科研單位,均加入一項所謂「全國一盤棋」的曝光系統研發計畫,逆向研究荷蘭ASML及日本Canon、Nikon等成熟的曝光機機型。但此次宇量昇生產曝光機,可能不單只是為了繞過ASML的專利障礙,而是試圖開闢新的技術路徑,研究出性能更好的機型,因此利用不同技術路徑,分別造出好幾座機器並測試,這是合理手段,推論中國消息來源的說法具可信度。

烏凌翔說,假設宇量昇的曝光機原型為浸潤式DUV,解析度28奈米,正在調整測試中,那計算「曝光」便是必須要測試的重要一環,但光是這一階段,就必須耗費大量時間、繁複程序,更不用提各項測試及安裝,「中國有這麼多時間嗎?」 (相關報導: 台積電一口氣「連漲4年」代工價!全資源灌注先進製程 這類客戶恐缺貨 更多文章

烏凌翔指出,隨著韓國川習會落幕,美國調降對中關稅、中國暫緩稀土管制並購買美國大豆,但是,美國對中限制半導體設備及材料出口的議題並未得到討論,「大國競爭不會輕易休兵」,雙方將透過談判拖延,爭取時間補強自身弱項。中美雙方都需要靠拖延,已達到國際關係理論所指「國家要強大,外部靠結盟、內部自立自強」。

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