艾司摩爾EUV恐被中國追上？專家曝美禁令出現反效果：這5家陸半導體廠攀升中

根據全球最大半導體設備商艾司摩爾2024年年報顯示，ASML全年銷售收入達283億歐元，其中系統設備銷售達217.69億歐元，中國採購額即占系統設備銷售收入達41%居冠，台灣僅占11%排名第四，亦即中國在2024年快速躍升為ASML的最大客戶。對此，科技達人曲博在網路節目《論政天下》上指出，儘管本土有供應商，但半導體廠首選仍是跟國外進口，因為任何一家晶圓廠，重點在於良率、賺錢，不會想要花時間去培養本土的供應商、慢慢調品質。

主持人烏凌翔提到，全球半導體設備最大市場其實就在中國，不僅成長的比率非常高，還連續幾年都達到3成，可見中國大量採購世界各國重要的半導體設備。他提到，根據2023年全球半導體設備廠商的排名，第一家為荷蘭的艾司摩爾、第二家是美國的應用材料、第三家是美國的科林、第四家是日本的東京威力科創，再來第五家是美國的科磊。

烏凌翔接著表示，艾司摩爾因為大量賣曝光機、中國稱作光刻機，所以這幾年排名從後面竄升至第一名，而且現在是全球唯一能夠供應EUV的廠商。他指出，中國因為美國打壓之後，反而讓二線廠商有出頭的機會，而中國前5大的半導體設備商，第一家是北方華創、第二家是中微半導體、第三家是盛美上海、第四家是拓荊科技，再來第五個華海青科，其中這幾家成長的幅度非常高，華海青科還高達超過五成。

曲博指出，外商公司賣的都是高階設備，後面中國本土的廠商，目前做的是中低階的設備。他表示，中國廠商在受到美國打壓之後，反而因禍得福得到機會，慢慢把半導體設備越做越好、越來越先進。他也提到，相對的台灣慢慢有出現一些新公司在做，而他認為這都是好事，要進一步培養本土的供應商。

曲博續指，儘管本土有供應商，但半導體廠首選仍是跟國外進口，因為任何一家晶圓廠，重點在於良率、賺錢，不會想要花時間去培養本土的供應商、慢慢調品質，只有一種狀況半導體廠會這樣做，就是進口設備價格太過昂貴，或者是進口的設備隨時會被斷貨，甚至維修會找不到人，這個時候就會開始考慮把一些比較低階的產品線，趕快轉成本土的供應鏈。

艾司摩爾關鍵技術光刻機　中國土法煉鋼有機會自產

曲博說明，相對而言，其實是在培養本土的供應商，如果今天設備可以賣進中國大陸，事實上就相當於本土的廠商少賣了很多設備，而站在美國政府的角度，還是認為封鎖是一種方法，但是關鍵在於「人家做得出來的東西，你不要去封鎖，因為那個封鎖是毫無意義的。」

曲博表示，坦白說在全球半導體設備商排行的公司裡面，最關鍵的技術還是艾司摩爾，因為光刻機的門檻是最高的，其中極紫外光的光刻機，目前中國大陸還沒有能力做出這個設備，所以美國下禁令確實可以達到效果。他提到，極紫外光產生的方法有好幾種，目前艾司摩爾用的方法是利用雷射光去撞擊錫液滴兩次，所產生的光的亮度才能夠用，而極紫外光的效率其實不高，只有一小部分的光會落在晶圓上，所以如果太弱的極紫外光是沒有用的。

曲博接著表示，中國大陸之前傳出有研究單位利用電漿方式，做出了極紫外光，但他認為，要足夠的能量還有困難，中國目前也有第二種方法是用同步輻射的方式，讓電子繞著一個環形的加速器不停地旋轉，沿著切線方向放出輻射，只要那個波長是落在極紫外光的就可以用，甚至用這樣的技術還可以產生X光，但是問題在於成本相對高。 （相關報導： 潤泰尹衍樑也救不了Gogoro？1月掛牌數不到千台　台灣機車銷量冠軍是這品牌 ｜ 更多文章 ）

曲博認為，目前大陸在被封鎖的狀況下，有可能用國家的資源去研發，但這僅限於光源，而極紫外光機真正困難的，不是只有光源還有整個曝光系統，所以中國10年之內能夠做出十奈米以下、五奈米以下的極紫外光設備，都已經很厲害了。