有這張王牌,歐洲不需要對美國言聽計從:《半導體地緣政治學》選摘(3)

EUV光刻機成為歐洲手中一張可以與美國談判的王牌。(資料照,取自ASML網站)
EUV光刻機成為歐洲手中一張可以與美國談判的王牌。(資料照,取自ASML網站)

我請專家為我解說EUV光刻機的構造和原理,光聽就覺得規模大到令人聞之生畏,技術更是艱難得超乎想像。

以光源系統為例,必須每秒照射5萬次融化的錫滴,讓錫滴落到真空容器中,再以雷射光轟擊融化後的錫滴產生極紫外光光束。由於極紫外光幾乎很容易被吸收,所以光束通過的機台內部必須完全真空。

在層層相叠的薄膜製成的特殊鏡面上,利用光線經過數次反射來調整倍率,最後照射在半導體晶圓上進行光刻。因為採用的是極大的玻璃鏡片,所以整台機器就變成照片上的巨大設備。

艾司摩爾是電機製造大廠,原本屬於飛利浦旗下一家合資的荷蘭企業。但光靠荷蘭的技術不足以製造出設備,因此需要擁有專業光學技術,由以製造相機鏡頭聞名的德國光學技術業者蔡司(Zeiss)公司生產鏡面,雷射產生器則是由德商創浦(TRUMPF)製造。

歐盟也加碼挹注補助款。與其說艾司摩爾是荷蘭企業,不如說這是由整個歐洲在背後支援的企業。

技術力背後的情報機構

同時,我們也必須關注艾司摩爾與比利時研究開發機構「比利時微電子研究中心」(Interuniversity Microelectronics Centre,簡稱IMEC)的關係。IMEC屬於研發奈米等級的微電子、資訊及通訊技術的非營利組織,匯聚全球近2000位研究人員及工程師,其中有6~7成是從約50個國家的企業派遣來的外國人。

企業以會員身分被邀請加入IMEC,將資金和人才送去參加共同研究項目。日本主要的半導體企業也不例外,以各種形式與IMEC合作,常駐比利時總部魯汶的日本人約有40、50人。

「把人員送到這裡的目的,不光為了研究開發,同時也是為了獲得情報。如果不和IMEC保持良好關係,就無法知道最先進的技術動向。因為這裡就像聚集技術人員的俱樂部,雖然成員中也有競爭對手,但基本上是可以自由高談闊論交流的氣氛。」

曾是日本最大設備製造商東京威力科創的會長東哲郎,對於企業和IMEC的關係,做了上述表示。其他各國企業,想必也是基於相同的考量吧?IMEC是開放式創新(open innovation)研究的中心,不僅匯聚了資金和人才,更有來自全球製造現場的最新消息。

荷蘭的艾司摩爾背後有IMEC的支持。這兩家公司都屬於荷蘭語系,地理距離也很相近。透過IMEC,艾司摩爾可以輕易的取得生產面的最新動態,知道「世界各國的製造廠正在為什麼而苦惱?又在尋找什麼解決對策?」這也是為什麼艾司摩爾能夠有優異技術的關鍵因素。

美國也畏懼的一張王牌

美國為了制裁華為,同樣也禁止其他外國企業向中國企業出口。這麼一來,艾司摩爾也不能銷售EUV光刻機給中國,等同封鎖中國製造業精細加工的道路。

對艾司摩爾而言,中國企業是第3大客戶,僅次於台灣和韓國,因此艾司摩爾一開始也抗拒美國政府的施壓,最後還是被迫遵從出口禁令。

2021年美國政權交替後,拜登依然維持原本的出口禁令,中國仍無法從荷蘭調度到EUV光刻機。 (相關報導: 傳美擴大半導體設備出口中國禁令 專家:一箭三鵰 更多文章

美歐雖然對中國在禁止出口上拉起了共同戰線,但從歐洲的角度來看,艾司摩爾手上同樣有一張對美國的王牌可打。因為美國企業同樣需要艾司摩爾的設備。

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