不只中國，美國也拚曝光機！前英特爾CEO領軍研發　獲川普砸1.5億美元投資

美國政府強力推動半導體重回「美國製造」，除了晶圓廠、先進製程外，曝光機也是產業鏈重點之一。而前英特爾執行長季辛格（Pat Gelsinger）在離職後，於新創公司XLight擔任董事長，開發曝光機新型技術「自由電子雷射」，而美國政府已同意砸下1.5億美元，投資入股此公司。

科技媒體《Wccftech》報導指出，在推動台積電赴美投資、扶植英特爾等動作之後，美國商務部正準備進一步支持能夠強化晶片製造能力的企業，xLight因此在《晶片法案》之下，獲得高達1.5億美元的聯邦補助。

報導提到，xLight是一家專注於晶片微影技術的企業，計畫以自由電子雷射（FEL）作為EUV設備的新型光源，與傳統方案不同，其打算利用粒子加速器產生高能電子束，該技術被宣稱在效率上，遠勝於目前主流的LPP技術。由於這是少數切入此關鍵技術領域的美國本土公司，因此引發高度關注。

季辛格表示，重振美國在光源技術上的領導地位，是一個世代僅有一次的機會，而在美國聯邦政府的支持下，xLight將把這個機會化為現實，打造能效提升10倍的下一代EUV雷射。

不過報導指出，xLight目前仍面臨不少挑戰，即使成功開發出曝光機的光源技術，仍須與艾司摩爾（ASML）的現有機台進行整合，這不僅成本高昂，ASML也可能對導入這項技術感到遲疑；此外，FEL技術目前仍停留在研究等級的表現，若要應用於量產製造，仍存在高度不確定性。

報導表示，曝光機技術確實是美國晶片產業，目前最關鍵的瓶頸之一，尤其是在國內晶片製造高度依賴ASML設備的情況下更為明顯，xLight與與另一家美國微影技術公司Substrate，是否實現重大突破，仍有待觀察。

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