中國開始生產DUV曝光機！ASML股價一度重挫8%，摩根大通：量產後的良率才是關鍵 | 李忠謙

《路透》28日引述知情人士說法，報導中國開始生產自主研發的浸沒式深紫外光（DUV）曝光機的消息。
《路透》指出，這項技術對於製造晶片至關重要，也標誌著北京對於降低依賴外國技術的努力邁出關鍵一步。如果美方對於ASML曝光機的管制持續收緊，中國自主研發的曝光機可能成為重要的備選方案。值得注意的是，中國自主研發的DUV曝光機是由鮮為人知的上海公司「愛生納」（Aishengna）主導，這間神秘低調的公司甚至連官網都沒有架設。

美國目前禁止中國購買ASML最先進的極紫外光（EUV）曝光機，荷蘭的出口管制也限制了中國取得部分先進深紫外光（DUV）曝光機的管道。儘管北京方面正積極推動自給自足，中國仍是ASML的關鍵營收支柱，今年上半年淨銷售額約有16%來自中國。雖然中國晶片製造商被禁止取得先進的EUV系統，但仍持續大量採購技術較落後的DUV設備。

中國開始量產國產DUV曝光機的消息，27日就由美國的資訊媒體《The Information》披露，並稱這家獲得國家支持的製造商正在小規模批量生產，今年將向中芯國際、華虹半導體及長鑫存儲等晶片製造商交付首批設備，今年預計量產5台，明年的產量則上看20台。這款中國產曝光機主打28奈米晶片生產，還可滿足7奈米級別晶片的製造需求。不過《The Information》並未報導製造商的具體名稱，只說該公司整合了中國多家企業的研發團隊。

《路透》28日報導，製造國產曝光機的企業是上海愛生納電子科技集團，並稱這項進展對北京推動半導體自給自足的計畫而言是一大勝利——這項計畫也是中國國家主席習近平最重視的目標之一——但中國的技術水準還不會對荷蘭供應商艾斯摩爾（ASML）構成即時的商業威脅。據匿名的知情人士表示，愛生納的DUV曝光機仍需進行進一步測試，且與ASML的競爭機型相比，兩者仍有很大差距。

不過中國開始量產曝光機的消息傳出後，ASML的股價一度下跌了8%，後來才縮小跌幅為1.6%。《The Information》還說，如果中國的DUV量產計畫一切順利，確實可能影響ASML的市場主導地位。不過包括ASML、中芯國際、華虹及長鑫存儲均未回應《路透》的置評請求。

摩根大通（JP Morgan Chase）分析師28日表示，儘管市場出現相應的調整，但他認為這則消息不太可能影響ASML長期的獲利走勢：「生產少量沉浸式深紫外（DUV）曝光機，與大規模量產是兩件事；關鍵在於大規模製造的曝光機在良率、對位精度、產能及可靠性是否能維持穩定。」

《路透》指出，愛生納成立於2023年8月，註冊資本為70億元人民幣（10億美元），僅由兩家國有股東——上海電氣控股及上海國際信託旗下的一家子公司——提供支持。關於愛生納的資訊寥寥無幾，它既沒有官方網站，也未曾公開披露任何有關其營運的資訊。

消息人士表示，該公司已整合了曝光機新創公司「宇量昇」（由華為支持的設備製造商SiCarrier的子公司）——該公司去年已開始測試深紫外光（DUV）原型機——以及上海微電子設備（SMEE）的團隊。不過公司資訊及招聘紀錄顯示，愛生納與宇量昇在上海的地址相同。《路透》曾報導中國成功研發極紫外光（EUV）曝光機的原型機，不過距離量產仍有數年之遙。