艾司摩爾具備什麼優異的技術呢？
想像一下雨後的天空所出現的七色彩虹：紅、橙、黃、綠、藍……彩虹的外側是紅色，而內側應該是紫色。紅色與紫色的尾端，彷彿融化在空中般消失不見。
人類肉眼所能看到只是光的一部分而已。彩虹兩側之外、人眼看不到的區域是紅外線與紫外線，而紫外線中波長更短的光線則稱為「極紫外光」（EUV, Extreme Ultraviolet ）。
要製造高電晶體密度的半導體晶片，極紫外光扮演重要的任務。為了提升蝕刻在晶圓上的電路圖的精細度，必須竭盡所能使用波長更短的光線。因此如果想要電路做得愈精密，極紫外光的波長就必須要愈短。
艾司摩爾所掌握的正是極紫外光的曝光技術。半導體的精細加工方面，韓國三星電子與台灣的台積電突破了7奈米製程量產的屏障，更進一步朝5奈米、3奈米精細化競爭，但到了這麼精細的程度，沒有艾司摩爾的光刻機，恐怕難以製造出來。
主客顛倒的三星，慘遭擊垮的日本
「希望（艾司摩爾）能賣我們公司更多EUV光刻機。」
新冠疫情高峰期的2020年10月13日，根據韓國媒體報導，三星電子的李在鎔副會長專機飛往荷蘭，直接找艾司摩爾的執行長溫彼得（Peter Wennink）洽談。
這1年三星手上的艾司摩爾設備估計約25台，只有對手公司台積電的一半左右，這表示他們的生產力將會落後對手，這讓三星十分焦慮。
從三星要求更多設備來看，外界臆測李在鎔想必投資了巨額的研發費用。原本三星應該是艾司摩爾的客戶，現在主客關係完全顛倒，三星反而得懇求艾司摩爾販售設備給他們。
本章章名頁的照片，就是正在組裝中的艾司摩爾EUV光刻機。大小幾乎相當於大型卡車，一台價格高達200到300億日圓（約新台幣45到65億元）。雖然擁有愈多設備，就能生產愈多半導體，但艾司摩爾1年能生產的光刻機數量最多只有30、40台，因此各國廠商都在搶購。
理應擅長設備製造的日本，表現又是如何呢？直到2000年左右為止，光刻機仍由日本Canon及Nikon獨占，兩家公司合起來約占全球8成的市占率。然而，這兩家公司在EUV技術的開發競爭失敗，逐漸離開第一線戰場。如今艾司摩爾取代這2家公司，占有8成的市占率。
當我請教Nikon今後EUV技術的方向性時，技術部門透過宣傳部給出了禮貌性的回答：「因為公司並沒有開發EUV光刻機，所以我只能大概回答。我們認為必須改善光刻機模組化的缺陷、光罩的不足、光阻劑、光源輸出等問題。」
這個回答似乎透露出遺憾。同時我也藉此知道，EUV技術需要有多少條件才能成功。日本和荷蘭的製造廠動員了各領域的技術，激烈競爭，更有多次的專利訴訟。但現在荷蘭公司已經穩居市場山頭，日本企業很難再東山再起了吧！
＊作者為《日本經濟新聞》編輯委員，日本最大國際新聞獎「伯恩－上田國際記者賞」得主。本文選自作者著作《半導體地緣政治學》（野人出版）
