零碳總動員》台積電大數據分析EUV機台使用效率、節能專案年省2億度電 何麗梅:要通過節能認證才可裝機

2021-08-11 07:50

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若以RCP8.5為例,台積電列出缺電、洪水、缺水、強風四大氣候風險,並分別擬定因應這四大風險的作法,包括各個廠區發電機的備援能力要大於15%供電能力、廠房地基提高、設置備援用水以及強化戶外設施抗風標準等。

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經過多重方法縝密分析、練兵,何麗梅表示,台積電去(2020)年確實成功防禦了氣候變遷帶來的災害衝擊,疫情下產線完全正常進行,她強調,在疫情下做到產線沒任何斷線,是很不容易的事。而缺水問題,今年更是用了很多新方法,像是循環使用建築工地地下水,希望在符合標準的最大限度內,透過有效利用水資源,減少水庫用水,超前部署,以舒緩水情吃緊現象。目前缺水的問題也已解除。

台積電氣候變遷風險。(圖/翻攝自台積電ESG報告書)
台積電氣候變遷風險。(圖/翻攝自台積電ESG報告書)

機台要節能認證才可裝機

除了自身減碳,台積電還帶動供應商,打造綠色供應鏈,以生產設備和非生產設備區分,兩者皆導入追蹤平台Supply Online 360。

在生產設備方面,何麗梅說,台積電自2016年起和機台設備商共同開發節能綠色機台,在裝機前,必須完成節能認證,取得合格節能認證,才可「連線」裝機,台積電是全球第一家要求供應商機台要對先進機台導入節能措施的半導體公司。

在非生產的附屬設備,透過導入「iSystem物聯網智慧節能控制系統」,根據iSystem收集附屬設備的能耗資料,建立能源績效指標與能源基線,自動計算節能量。目前這套系統已導入台中廠房,一年度省電1,340萬度、減少1.38萬公噸碳排放量,創造了8,500萬元的節能效益,何麗梅表示,下一步要在晶圓18廠導入節能設備,進而推及所有晶圓十二吋廠。

以EUV機台為例,EUV是半導體微影製程中最新進的機台,是演進到5奈米關鍵。然而傳送EUV光需要特殊的反射鏡,每一次傳送將損失3成能量,而在機台內平均10次以上的反射過程,最後僅剩下不到2%的光能。為提升機台能源使用效率,運用大數據研析EUV, 有效增加3%反射率,並利用變動頻率取代固定頻率的運作模式,成功提升EUV機台5%能源使用效率,此創新持續應用到3奈米EUV新機台。截至2020年,台積電「新世代機台節能行動專案」累計共139項節能方案驗證,應用於68種5奈米及3奈米的先進製程機台,成功省下2億度用電量。 

事前定好節能標準,下一步就是執行,Supply Online 360便是重要的追蹤執行成效平台,平台上明定出供應商行為準則(Supplier Code of Conduct),以及訓練課程和實際節能作法,作為台積電定期檢視供應鏈成效的工具。何麗梅表示,今年起,台積電每一年都會對用電量較大的供應商訂定節能目標,鼓勵供應商一同邁向永續供應鏈。

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