晶片變小會有漏電問題,台積電如何克服?用水管的比喻,帶你看懂電晶體微縮技術

2024-04-17 10:40

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台積電、三星等半導體製造業者用FinFET、GAA克服晶片漏電問題(圖/Unsplash)

台積電、三星等半導體製造業者用FinFET、GAA克服晶片漏電問題(圖/Unsplash)

電晶體的構造改革

電晶體中有三個端子。源極(source)是電荷的供給口,汲極(drain)是電荷的排水口,閘極(gate)是調整電荷流動的水閘。透過改變閘極的電位,就能讓從源極到汲極的電荷流動或停止,也就是可以進行開關。

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製作電晶體的方法是,將電晶體基板的表面氧化而形成薄的氧化膜,然後在其上放置金屬的閘極。接著,從上面注入與添加到半導體基板雜質極性相反的雜質。最後,將雜質打入閘極兩側半導體基板的表面,就形成了源極以及汲極。

因為閘極的的斷面構造是金屬|氧化物|半導體(Metal-Oxide-Semiconductor),所以被稱金屬氧化物半導體場效電晶體。在有著較多正電荷電洞(空穴)的P型半導體中,形成源極以及汲極的MOS稱為PMOS;使用較多負電荷電子的N型半導體則稱為NMOS。

以下來說明NMOS的運作吧。電子會積存在源極中。閘極與源極屬於相同電位時,處在源極與汲極間的P型半導體基板會在與源極間打造電子屏障,所以汲極與源極間不論如何降低電壓,電子都不會流到汲極去。

但是,若給予閘極比源極更高的電位,閘極正下方的P型半導體基板表面就會反轉成為N型,形成電子通道的路徑,電子就會從源極流向汲極。電流的流向與電子的流向是相反的,所以電流會從汲極流向源極。

PMOS的運作與此恰恰相反。電洞會累積在源極中。若給於閘極夠低於源極的電位,電洞就會從源極流向汲極,電流也會往相同方向流。

在此,將PMOS以及NMOS的源極分別接上電源以及地面,連接兩者的閘極作為輸入,並連接汲極作為輸出,就能夠成CMOS反相器。

若CMOS反相器的輸入進入低電位(L),NMOS會關閉,PMOS會打開,電流會從電源流出,輸出高電位(H)。同樣地,若H進入了輸出,電流就會從輸出流入到地面,L則會流出到輸出。

PMOS與NMOS若沒有同時開啟,電流不會一直從電源流向地面。唯有要將輸出轉變成是H或L時才會使用電流,所以是低電力。PMOS與NMOS就像這樣會進行互補(Complementary)的運作,所以被稱為CMOS。

但是,若縮小了電晶體,汲極與源極間就會發生漏電。要想知道其中原因,就必須稍微仔細地來看一下形成通路的構造。

以下來回到針對NMOS的運作說明吧。為什麼只要給予閘極夠高於源極的電位,P型半導體基板的表面就會反轉成N型並形成通路呢?

希望大家能想到將兩片金屬電極相對的電容器(capacitor,又稱為condenser)。首先給予一枚金屬板A正電荷,並讓電荷均勻分布。

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