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SEMICON Taiwan 2026直擊》High NA EUV迎量產元年!ASML:全球曝光逾135萬片、英特爾18A領頭投產
High NA EUV(高數值孔徑極紫外光微影)正式跨越研發驗證,邁向高量產製造。ASML(NASDAQ:ASML;Euronext Amsterdam:ASML)High NA EUV產品管理資深副總裁Greet Storms於SEMICON Taiwan 2026指出,EXE:5200B已在AB模式下達到每小時135片晶圓的驗收產能,全球EXE系統累計曝......
魏鑫陽
2026-09-01 11:41
High NA EUV
ASML
半導體