疊對精度  

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ASML 高數值孔徑極紫外光微影設備(High NA EUV)產品管理副總裁 Greet Storms 。(ASML提供)

SEMICON Taiwan 2026直擊》High NA EUV迎量產元年!ASML:全球曝光逾135萬片、英特爾18A領頭投產