極紫外光顯影  

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艾司摩爾最新一代曝光機 High NA EUV,售價可高達3.7億美元,需要三架747貨機運輸。 ( 照片來源:ASML)

商業熱議》直擊!世界上最不可或缺的機器、台積電最重要的夥伴ASML

台積電地位不保,三星花費鉅額建廠,極紫外光製程技術搶攻訂單。(圖:flickr)

台積電小心,最悍對手來了!三星猛砸3.5兆,急起直追搶5奈米訂單