# 數值孔徑  

High NA EUV（高數值孔徑極紫外光微影）把數值孔徑從0.33提高至0.55，帶來更高解析度及成像對比，卻也同時縮小景深與曝光視場，衍生對焦裕度不足、晶片圖形必須拼接兩大難題。ASML（NASDAQ：ASML；Euronext Amsterdam：ASML）High NA EUV產品管理資深副總裁Greet Storms於SEMICON Taiwan ......