EUV技術  

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近期外媒報導中國自主研發的EUV(極紫外光)設備近期取得重大突破。(資料照,美聯社)

不靠ASML!中國EUV光刻技術傳重大突破 烏凌翔預測:原型機這時問世

台積電認為,其A16技術未必要用到艾司摩爾的高數值孔徑極紫外光曝光機(High NA EUV)。(圖/翻攝自台積電官網)

台積電:A16技術不一定要用到艾司摩爾EUV