玩什麼「靶」戲?什麼是靶材?光洋科經營權之爭誰是誰非?

2021-11-30 09:07

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台積電製程的協力廠商光洋科爆發經營權之爭,台積電罕見發聲(AP)

台積電製程的協力廠商光洋科爆發經營權之爭,台積電罕見發聲(AP)

我們想讓你知道:光洋科的經營權之爭,連「護國神山」台積電也極罕見發出聲明、希望爭端盡快落幕。作者解析,入股供應商鞏固料源為常見商業策略,不能藉此說是公司輸出機密到中國大陸、危害台灣。投資人簽下委託書前務必深思熟慮,選擇對公司最有利的團隊。

媒體報導有人在報紙刊登廣告,提出光洋科踩紅線危害台灣,輸出機密技術到中國大陸。顯然經營權之爭愈演愈烈,連這種「做梗圖編故事」穿鑿附會的抹黑手段都使出來,真的是精彩絕倫。那麼到底什麼是靶材?靶材用在什麼地方?光洋科經營權之爭誰是誰非呢?(延伸閱讀:光洋科爆經營權爭奪戰,大客戶台積電說話了:「希望爭議盡快平息!」)

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什麼是離子(Ion)?

我們國中都學過,原子的中心是原子核(帶正電),原子核外圍繞著許多電子(帶負電),當我們對原子施加能量(光能或電能),則可以將原子核外的一個電子趕走,如圖一所示,換句話說,原子核外的某一個電子吸收能量,而離開了原來的位置跑掉,產生一個帶正電的「離子(Ion)」與跑掉的那一個帶負電的「電子(Electron)」。

離子與電漿示意圖(圖片來源:作者提供)
離子與電漿示意圖(圖片來源:作者提供)

我們以氬氣為例說明氣體發光的原理:氬原子的原子核帶電量+18,原子核外有18個電子(帶電量-18)繞著原子核運行,當我們對氬原子施加能量的時候,氬原子的一顆電子會吸收能量而跳出來,此時氬原子的原子核帶電量+18,但是只剩下17個電子(帶電量-17),正負互相抵消後仍然帶正電(+1),這個帶正電的東西稱為「氬離子(Argon ion)」,如圖一(a)所示。

反過來說,如果某一個氬離子(帶電量+1)恰好遇到了另外一個電子(帶電量-1),不論這個電子是原來他自己的(自己在形成氬離子的時候跳出來的)或是別人的(別的氬原子在形成氬離子的時候跳出來的),受到「異性相吸」的現象影響,氬離子與電子會重新結合變回氬原子,同時放出能量,如圖一(b)所示。

什麼是電漿(Plasma)?

當一團氣體原子(好多好多個原子)同時被解離成一團氣體離子與電子(好多好多個離子與電子)的時候,這一團氣體離子與電子就稱為「電漿(Plasma)」。以氬氣為例,當我們對一團氬原子施加能量(光能或電能),則可以使許多氬原子變成氬離子與電子,這一團氬離子與電子就稱為「氬電漿(Argon plasma)」。

一般人對電漿這個名詞可能覺得很陌生,但是卻天天都看到,家庭中使用的日光燈、廣告用的霓虹燈、下雨天發生閃電打雷與南北極的極光等都是因為電漿而產生的發光現象。

日常生活中常見的電漿。(a)日光燈;(b)閃電打雷;(c)南北極光。 【資料來源】維基百科(zh.wikipedia.org/wiki/%E6%9E%81%E5%85%89)
日常生活中常見的電漿。(a)日光燈;(b)閃電打雷;(c)南北極光。 【資料來源】維基百科

什麼是濺鍍(Sputtering)與靶材(Target)?

所謂的「靶材(Target)」其實就是一塊純度很高的金屬或非金屬材料,利用氬電漿(一團氬離子與電子)撞擊靶材,將靶材的原子撞出來的技術稱為「濺鍍(Sputtering)」,這是在晶圓廠裡面常見的一種薄膜成長技術,不論成熟製程或先進製程都用的到,通常用來製作積體電路的金屬導線。

以成長鎢(W)多晶薄膜為例,如圖三所示,其製作步驟如下:

1.將矽晶圓放在濺鍍機台的正極下方,做為「基板(Substrate)」。

2.將鎢(W)固體塊材,我們稱為「靶材(Target)」放在負極(帶負電)。

3.將氬氣(Ar)通入反應器,施加高電場形成氬電漿,也就是氬離子(帶正電)。

4.氬離子(帶正電)受到負極(帶負電)的吸引而撞擊鎢靶材,將鎢原子撞出。

5.被撞出來的鎢原子向矽晶圓(基板)移動,在基板上沉積形成鎢多晶薄膜。

濺鍍(Sputtering)系統示意圖。 【資料來源】曲博科技教室(www.youtube.com/ansforce)
濺鍍(Sputtering)系統示意圖。 【資料來源】曲博科技教室

濺鍍的原理與撞球相似,氬離子就好像是「母球」,鎢靶材的鎢原子就好像是「子球」,以氬離子(母球)將鎢靶材的鎢原子(子球)撞出即可,不必讓鎢靶材熔化,所以與鎢靶材本身的熔點無關,無論材料熔點高低均可使用。

光洋科關鍵技術,如何讓半導體大廠買單?

光洋科主要的技術是「廢靶材」回收與微量雜質分離純化,所謂的廢靶材就是晶圓廠使用過的殘留靶材,我們通常用磁場來控制靶材表面的氬電漿,但是磁場很難完全均勻,因此大約濺度30%靶材時表面就凹凸不平無法使用成為「廢靶材」,由於靶材都是純度很高的金屬或非金屬材料,剩下的70%廢靶材丟了很可惜,因此可以回收純化加上30%新原料再製成「新靶材」賣回晶圓廠。

以光洋科開發的「銅錳靶材(CuMn target)」為例,成功打入台積電先進製程3奈米供應鏈,主要是做為「種子層(Seed layer)」連接積體電路晶片上的水平方向金屬導線,3奈米先進製程使用的靶材品質要求很嚴格,純度必須達到99.9999%(計算金屬雜質的單位,又稱為6N,代表6個9),技術困難度極高,這就是我常說的先進製程材料,而且光洋科還是回收廢靶材,所以同時屬於循環經濟的廠商。

經營權之爭愈演愈烈:做梗圖編故事、穿鑿附會精彩絕倫

由於銅錳靶材最多只能回收剩下的70%廢靶材,意思是必須加上30%新原料才能製作成晶圓廠可以使用的新靶材,而且新原料的純度必須達到99.9999%,這種高純度的銅原料採礦、冶煉、純化供應商都在日本與中國大陸,因此光洋科向中國光微購買6N的高純度銅原料,同時為了確保原料供應無虞,入股供應商在商業上是常見的合作模式,這是為了輸入銅原料,而不是輸出技術。

所有企業都知道核心技術是根本,所以靶材製作技術當然要由公司掌握,高度保密絕對不能外流,更何況台積電對供應鏈都有嚴格的審查與管控,怎麼可能把技術輸出?因為經營權之爭「做梗圖編故事」,有心人穿鑿附會抹黑公司多年來辛苦經營的成果,破壞上下游供應鏈建立的信任關係,目的到底是什麼?(延伸閱讀:台積電供應鏈遭「禿鷹」盯上,下個輪到中鋼?黃天牧:檢討委託書搶經營權制度

散戶應該深入了解實際經營情況,選擇正確的經營團隊

媒體報導,有心人士使用很少的股權,包下三大通路收購散戶委託書,再利用委託書入主目標企業。手法是先成立跟目標公司相同名稱的投資公司混淆視聽,讓散戶誤以為是目標企業的投資公司;再來尋找目標企業的董事取得股東名冊聯絡股東收購委託書;最後是綁定委託書三大通路,用很少的股權配合大量的委託書來奪取目標企業的經營權。

【資料來源】https://udn.com/news/story/7239/5907744

更厲害的是,奪取經營權後可以用目標企業的錢再去入股下一個目標企業,同時可以再把股票拿去質押,向銀行融資、再去奪取下一個目標企業的經營權,不斷複製這個模式,就可以用極低的成本,取得許多目標企業的經營權;問題是有心人士對目標企業實際持有股數很少,會用心經營的可能性有多高?這樣對台灣的科技產業與投資人都是很大的傷害,值得金融監管單位留意。

尤其是三大通路商長期以來使用各種招術遊走法律邊緣,目標就是要弄到散戶手上的委託書,等於是有心人士入主目標企業的好幫手,金融監管單位應該嚴禁利用紀念品交換散戶委託書的行為,只准通路商舉辦公開說明會、讓雙方說明入主目標企業後的規劃,讓散戶了解後再決定該委託給那一方?

散戶也應該深入了解,到底支持那一方才是真正對公司的未來發展有利,再來決定該委託給那一方,千萬不能為了領紀念品而簽下委託書,否則賺了紀念品賠了股價,到頭來受傷的還是自己。此外,散戶為了保障自己的權益,不要把委託書蓋給不認識的通路商,才能避免有心人士危害公司,最簡單的做法是到網路上查詢公司電話,直接打電話到公司詢問相關細節。

循環經濟大爆發:材料冶煉是基礎工業、循環經濟是環保產業

先進材料的採礦、冶煉、純化是基礎工業,供應商都在歐美、日本甚至中國大陸,這是台灣比較不擅長的領域,要解決6N的高純度銅原料向中國大陸購買的問題,我們就必須更重視基礎工業,培養材料、化學、物理等基礎科學人才與廠商。此外,循環經濟是未來的發展重點,全球知名品牌客戶將會要求供應商交貨的產品必須含有一定比例的回收材料,政府應該區分一般廢棄物與科技廢棄物回收再利用的差異,與時俱進修改環保法規,鼓勵廠商進行科技廢棄物回收再利用,對台灣的科技產業發展才有正面的幫助。


作者為台大電機博士,知識力專家社群創辦人

責任編輯/周岐原

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