# SFO專利技術  

半導體檢測設備準上櫃新兵華洋精機（6983）今（28）日舉辦媒體茶敘，為明日上櫃前業績發表會先行暖身。受惠於全球AI與高效能運算（HPC）需求噴發，帶動先進製程微縮與CoWoS等先進封裝產能持續擴張，華洋精機憑藉自主研發的SFO專利技術，打破國外大廠長期壟斷，成為台灣目前唯一能同時檢測EUV（極紫外光）與DUV（深紫外光）光罩微粒的設備供應商。總經理蕭賢德樂......